M2 AOI

M2提供了高速微電子設備檢查功能，並具有出色的缺陷覆蓋率。 M2的分辨率可降至次微米鏡級別，並且具有遠心光學元件，可在不到1平方米的佔地面積內提供完整的檢查。

微電子自動光學檢查