M2 AOI

M2提供了高速微电子设备检查功能，并具有出色的缺陷复盖率。 M2的分辨率可降至次微米镜级别，并且具有远心光学元件，可在不到1平方米的佔地面积内提供完整的检查。
微电子自动光学检查